Az elektromos ellenállás oka az elektronok szóródás ki egymással, és ki az oldalán a vezetéket. Bizonyos anyagok nem mutatnak villamos ellenállás alatt a kritikus átmeneti hőmérséklet , és ezek az anyagok ismertek mint szupravezetők . Minden olyan anyagot, mint például a szupravezető mintás lehet egy bizonyos alakja , például egy kör alakú pályán , egy folyamat néven ismert fotó – litográfia. Ez a folyamat a ragyogó ultraibolya fényt egy speciálisan kialakított maszk – egy tányér úgy működik, mint a stencil – annak érdekében, hogy létrehoz egy pattern.Things amire szüksége van
centrifugális bevonó
S1813 fotoreziszt
S1813 fejlesztő
Mask aligner
maszk körpályán
párologtatókamra
nióbium pellet
Tűzhely
Si szubsztrát
Show More utasítások
1
Helyezze a szilícium hordozó a spin- bevonó Chuck . Válassza ki a centrifugálási sebessége 3000 RPM , és a spin idő 2 perc alatt. Helyezzünk egy pár csepp S1813 az aljzatra , és indítsa el a spinning.
2
Kapcsolja be a főzőlapon , és állítsa be a 110 Celsius fok ( 230 fok ) . Várjon, amíg a főzőlap elérte a beállított hőmérsékletet. A mintát a főzőlapon 2 percig. Vegyük ki a mintát , és hagyjuk kihűlni .
3
A mintát a maszk aligner , és helyezze a maszkot a körpályán a maszk aligner a minta fölé . Tegye a mintát ultraibolya fény 2 másodpercig .
4
A mintát az S1813 fejlesztő 30 másodpercig . A fejlesztő eltávolítja a kitett része a minta , amely egy kör alakú pályán, szupravezető anyagot lehet elhelyezni .
5
A mintát a fagyasztóba , és helyezzük egy pár pellet nióbium a párolgás tégelybe . Pároljuk 100 nanométer nióbium . Vegyük ki a mintát a párolgás kamrából . Helyezze a mintát aceton. Aceton eltávolítja az összes részét a fotoreziszt így a szupravezető körpályán . A minta teljes. Nióbium a szupravezető alatt 9,3 Kelvin .
