atomok közé tartozik a pozitív töltésű atommag körül egy felhő a negatív töltésű elektronok . Néha atomok szerezhet vagy veszít elektronokat , ami nekik megszerzése nettó pozitív vagy negatív töltés . Egy atom nettó töltés ismert egy ion . A plazma egy felhő ionok , és ezek számos felhasználási a félvezető -feldolgozó ipar . A plazma lehet előállítják az Argon töltött vákuum- kamrában segítségével a tápegység , amely létrehozza a rádiófrekvenciás ( RF) radiation.Things amire szüksége van
RF vákuum kamrában argon tömegáram szabályzó
Rotary pumpa
Turbo szivattyú
RF tápegység
RF megfelelő hálózati
2 RF kábel
Show More utasítások
1
Kapcsolja be a rotációs szivattyú és várja meg a nyomás kap 10 ^ -3 mbar . Kapcsolja be a turbó szivattyú , és várja meg a földi létre . Várja meg, amíg a nyomás körülbelül 10 ^ -6 mbar elérésekor .
2
Csatlakoztassa az RF kábelt az RF megfelelő egység és RF tápegység. Csatlakoztasson egy másik kábelt az RF megfelelő készüléket , és a rádiófrekvenciás vákuum kamrában elektróda aljzat .
3
Részben közel a szelep a turbó szivattyú . Kapcsolja be a Argon tömegáram szabályzó , és állítsa be a nyomást 15 mbar . Kapcsolja be az RF tápegység és a megfelelő berendezés . Állítsa be előre teljesítménye 50 watt . A megfelelő készülék hallható megpróbálja minimalizálni a visszavert RF teljesítmény . Amikor a visszavert teljesítmény kevesebb, mint 1 százaléka az előre hatalom, növeli a továbbított teljesítménnyel , hogy mintegy 150 watt. A plazma a kamrán belül meg kell világítani , és látható , ha a kamra view- port . Lassan csökken az előre power back 50 watt. Az RF pár plazma jön létre .
